OS1-2 熱電マイクロジェネレーターの試作(OS1 マイクロエネルギー変換,循環型社会における動力エネルギー技術)

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概要

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• We fabricated micro-generator based on thermoelectric materials and measured its performance. The Bi_2Te_3- Sb_2Te_3 is used as a p-type material, and the Bi_2Te_3- Bi_2Se_3 is used as an n-type material. We fabricated shadow masks of Si with Si_3N_4 by using standard micro-fabrication processes for patterning the device. Thin films of both p-type and n-type Bi_2Te_3 are deposited by a flash evaporation method through the shadow masks. The maximum output voltage of the micro-generator is 6.7mV at 2.5K temperature difference.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2007-06-13

著者

• 宮崎 康次

  九州工業大学大学院工学研究院

• 宮崎 康次

  九州工大

• 塚本 寛

  北九州工業高等専門学校

• 塚本 寛

  九州工業大学大学院生命体工学研究科

• 黒崎 潤一郎

  九州工業大学大学院工学府機械知能工学専攻

• 宮崎 康次

  九州工大生命体

• 黒崎 潤一郎

  九州工大院

• 高尻 雅之

  小松製作所

• 原田 一興

  九州工大院

• 塚本 寛

  九州工大生命体

• 高尻 雅之

  (株)小松製作所研究本部

• 塚本 寛

  九州工大 大学院生命体工学研究科

• 塚本 寛

  論文賞選考委員会

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