MEMSを利用した温度測定(<小特集>第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
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概要
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We used metal thin films prepared by a simple MEMS technique for temperature measurements. We calibrated the decreased thermoelectric power of metal thin film thermocouples (TFTCs), and used those for measurements of temperature distribution at microscopic area. We applied the TFTCs to the Scanning Thermal Microscope (SThM) for developments of temperature measurements. We used metal thin film for thermal conductivity measurements of thin films as both a micro-heater and a temperature sensor called 3ω method. The mechanisms of thermal conductivity reduction of nano-structured materials can be discussed through thermal conductivity measurements at low temperature.
- 2010-08-25
著者
-
宮崎 康次
九州工業大学大学院工学研究院
-
宮崎 康次
九州工業大学
-
宮崎 康次
九州工業大学 工学部 機械知能工学科
-
宮崎 康次
九州工業大学工学研究院
-
宮崎 康次
九州工業大学:life Beans Center Kyushu
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