TPD/Alq_3構造有機ELへの後処理が素子特性に及ぼす影響(有機材料・一般)

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概要

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有機ELの電気から光への変換過程において、素子を構成する有機物の膜質が特性に大きな影響を与える。そこで我々は素子の膜質に着目し特性改善を図った。真空蒸着法で作製したTPD/Alq_3構造有機ELの場合、作製過程において有機分子が分解しながら昇華することが分かった。その知見を踏まえて、蒸着の後処理による膜質の改善を目的とし、有機蒸着後の各種雰囲気による低温アニール処理および、室温でのO^*(酸素ラジカル)供給処理を施した。その結果、電流値の増加と発光効率の向上が確認できた。特性の向上の原因として、ITOからのホール注入量の増加、およびAlq_3の膜質改善が示唆された。
2010-05-20

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