インクジェット印刷による有機トランジスタ電極の微細化と高速動作(センサ,デバイス,一般)
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概要
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有機トランジスタのソース・ドレイン電極をサブフェムトリッターインクジェット技術により10ミクロン以下まで微細化し、ソース接地回路として電圧利得遮断周波数を測定した。サブフェムトリッターインクジェットは、液滴が0.5〜0.7フェムトリッターと極めて微小であるため、液滴の飛翔中にインク内の有機溶剤が乾燥する特徴を持つ。そのため、有機半導体上に直接インクで電極を形成しても、ダメージが無く、移動度0.2cm^2/Vsを有する有機トランジスタを作製することが出来た。有機トランジスタの電極幅を7μmまで微細化することで、ゲート、ソース・ドレイン間の寄生容量を低減し、電圧利得遮断周波数66kHzという非常に良好な周波数性能を得た。
- 2010-01-05
著者
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関谷 毅
東京大学
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染谷 隆夫
東京大学
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横田 知之
東京大学工学系研究科
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野口 儀晃
東京大学工学系研究科
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染谷 隆夫
東京大学大学院工学系研究科
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関谷 毅
東京大学大学院工学系研究科
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横田 知之
東京大学大学院工学系研究科
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野口 儀晃
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
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染谷 隆夫
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
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関谷 毅
東京大学大学院工学系研究科電気系工学専攻
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染谷 隆夫
東京大学 大学院工学系研究科
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