遮断円筒導波管法によるアンダーフィル材料の複素誘電率測定に関する検討

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概要

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ミリ波帯における低損失誘電体材料の測定法として、遮断円筒導波管法がよく知られている。筆者らは、誘電正接が10^<-3>以下の材料に対して、高精度に測定が行えることをこれまで実証してきた。しかしながら、10^<-2>程度の被測定試料に対する検討が不十分であった。本研究では、10^<-2>程度の中損失な誘電体材料として、半導体回路の実装強度向上に使用されるアンダーフィル材料を選択し、その複素誘電率測定を行うことで遮断円筒導波管法の測定精度を検討した。その結果、常温における測定では、比誘電率に関しては2.3%以内、誘電正接に関して40%以内の測定精度を得られることを実証した。
2010-05-06

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