11511 真空蒸着法による合金薄膜の創製とTEM観察(表面工学,一般講演,学術講演)
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概要
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This study was the manufacturing method of Al or Ni-Ti thin films by vapor deposition on polycrystalline NaCl. In the case which NaC1 was melted and solidified on a ceramic plate, it is effective to make a spherical dimple on the ceramic plate. The thin films were cut along grain boundary and in rectangles because of cracks which were made by difference of coefficient of thermal expansion between NaCl and ceramic. Al and Ni-Ti thin films were observed by transmission electron microscope (TEM) and their atoms arranged regularly. The Surface of Ni-Ti thin film was coated with golden color oxide film which made by remained water in the ceramic plate.
- 2008-03-13
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