SOI技術を用いた放射線イメージセンサーの開発(実験技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
様々な分野で高解像度,高速,高感度な放射線イメージセンサーへの要求が高まっている.これらの要求を満たす為には,放射線センサーと読み出しエレクトロニクスとの一体化が不可欠であるが,従来の技術では困難であった.Silicon-On-Insulator(SOI)と呼ばれる技術が実用化され,長い間の夢であるモノリシック型の放射線検出器の可能性が見えてきた.SOIイメージセンサー技術の開発経過と今後の課題について解説する.
- 2010-09-05
著者
-
新井 康夫
高エネルギー加速器研究機構、素粒子原子核研究所
-
三好 敏喜
高エネルギー加速器研究機構素粒子原子核研究所
-
一宮 亮
高エネルギー加速器研究機構素粒子原子核研究所
-
小貫 良行
東北大学大学院理学研究科
-
新井 康夫
KEK素核研
-
新井 康夫
高エネルギー加速器研究機構素粒子原子核研究所
-
一宮 亮
高エネルギー加速器研究機構・素核研
-
新井 康夫
高エネルギー加速器研究機構・素核研
-
三好 敏喜
高エネルギー加速器研究機構・素核研
関連論文
- 26pZG-5 RHIC PHENIX実験における高運動量μ粒子トリガーのためのヒット信号収集回路の開発の状況(標的・データ収集・計算機ソフト,実験核物理領域)
- 24pSF-12 ATLAS前後方ミューオントリガーシステム用フルカスタムICの開発 : 初の全機能実装版ASICの動作報告
- 24pSF-11 ATLAS前後方ミューオントリガーシステム用タイミング調整IC及びHigh-pTモジュールの開発
- 27aSC-8 ATRAS 前後方ミューオントリガーシステム用TTCモジュールの動作特性 : 概要
- 27aSC-3 ATLAS前後方ミューオントリガーシステム用フルカスタムIC : 読み出し系の開発
- 27aSC-2 ATLAS前後方ミューオントリガーシステム用フルカスタムIC の開発 : 概要
- 招待講演論文 素粒子実験用TDCとSOI放射線イメージ検出器 (情報センシング)
- 21pSD-4 RHIC PHENIX実験のための新しい高運動量ミュー粒子トリガー回路の大量生産と設置作業についての報告(21pSD 粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 26pZG-4 RHIC PHENIX実験のための新しい高運動量ミュー粒子トリガー回路の実機における性能評価(標的・データ収集・計算機ソフト,実験核物理領域)
- 24aZV-2 PHENIX実験シリコンピクセル検出器のためのハイブリッドセンサーおよびPILOTチップの品質検査(粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- SOI技術を用いた放射線イメージセンサーの開発(実験技術)
- 素粒子実験用TDCとSOI放射線イメージ検出器(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- 30pSJ-7 PHENIX実験シリコンピクセル検出器を用いたスピン物理(30pSJ 実験核物理領域,理論核物理領域,素粒子実験領域,素粒子論領域合同 核子構造(合同),実験核物理領域)
- 28pSG-11 PHENIX用シリコンピクセル検出器の高エネルギー陽子ビームを用いた性能評価(28pSG ハイパー核・検出器I,実験核物理領域)
- 28pRE-7 SOI技術を用いた新しいX線イメージセンサーの開発II(28pRE 領域10,領域5合同 X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 27pSB-2 SOI pixel検出器用DAQシステムの開発,及び性能試験(27pSB 半導体検出器,MPGD,素粒子実験領域)
- 28aSH-5 X線CCDの多数読み出しのためのFD-SOIを利用したASICの開発(28aSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 21pSD-3 PHENIXシリコンピクセル検出器の組立工程とラダー組立精度の評価(21pSD 粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 21pSD-2 PHENIXシリコンピクセル検出器用の高信号密度・低物質量読み出しバスの量産報告(21pSD 粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 21pSD-1 シミュレーション計算によるシリコン検出器を用いたPHENIX崩壊点検出器の性能評価(21pSD 粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 24aZV-1 PHENIX実験のためのシリコンピクセル検出器の開発(粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 24aZV-4 PHENIXシリコンピクセル検出器のプロトタイプ読み出し試験(粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 実験技術 SOI技術を用いた放射線イメージセンサーの開発
- 28aYK-11 大面積化を目指した計数型X線SOIイメージセンサー(CNTPIX3)(X線・粒子線(X線),領域10,誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- 21aWA-3 SOI技術を用いた新しいX線イメージセンサーの開発(21aWA X線・中性子(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 23aSJ-6 SOI pixel検出器におけるセンサー及び回路開発(23aSJ 半導体検出器,素粒子実験領域)
- 26pZJ-2 SOI技術を用いたpixel検出器の開発 : 放射線検出による実験評価(半導体検出器,ニュートリノモニター,素粒子実験領域)
- 22pZB-5 SOI技術を用いたpixel検出器の開発(1) : レーザー・放射線源を使用した実験評価(22pZB 半導体検出器・光検出器,素粒子実験領域)
- 22pZB-6 SOI技術を用いたpixel検出器の開発(2) : TCADシミュレーションを用いたピクセル形状の検討(22pZB 半導体検出器・光検出器,素粒子実験領域)
- 20pSH-2 Ashra報告33 : 光学系の準備(20pSH 高・超高エネルギー宇宙線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 20pSH-3 Ashra報告34 : Mauna Loaサイトにおける建設(20pSH 高・超高エネルギー宇宙線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 27aWL-7 SOI技術によるPixel検出器の開発(27aWL 半導体検出器(1),素粒子実験領域)
- 30pWK-7 High Resolusion TDC chipの開発(30pWK DAQ,計算機,素粒子実験領域)
- 28pSD-4 Ashra報告30 : Ashraトリガセンサの性能試験(28pSD 高・超高エネルギー宇宙線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28pSD-5 Ashra報告31 : Mauna Loa観測地の現状報告(28pSD 高・超高エネルギー宇宙線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28pSD-3 Ashra報告29 : Ashra-CMOSファインセンサの構造と動作特性(28pSD 高・超高エネルギー宇宙線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28pSD-2 Ashra報告28 : Ashra光電撮像パイプライン光伝送系の性能試験(28pSD 高・超高エネルギー宇宙線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 13pSC-14 Ashra報告26 : Ashra試験望遠鏡を用いたTeVガンマ線の観測(13pSC 高・超高エネルギー宇宙線(EUSO・Ashra他),宇宙線・宇宙物理領域)
- 26aSD-9 PHENIX実験用シリコンピクセル検出器の高密度バスの開発(26aSD 粒子・光検出器,実験核物理領域)
- 26aSD-5 PHENIX実験のためのシリコンストリップ検出器の照射損傷実験における線量測定(26aSD 粒子・光検出器,実験核物理領域)
- 27aWL-10 PHENIX実験におけるシリコンピクセル検出器ラダーの組立てに関する研究(27aWL 半導体検出器(1),素粒子実験領域)
- 27aWL-9 PHENIXシリコンピクセル検出器用ハイブリッドラダーの読みだしテスト(27aWL 半導体検出器(1),素粒子実験領域)
- 25pRC-5 若手研究者による情報発信「サイエンスチャット」の試み 1(物理教育,領域13,物理教育,物理学史,環境物理)
- 25pRC-6 若手研究者による情報発信「サイエンスチャット」の試み 2(物理教育,領域13,物理教育,物理学史,環境物理)
- 3a-C-12 FASTBUSシステムの試作
- SOI技術によるX線ピクセル検出器の開発 (特集 X線イメージングの最前線)
- 26aSD-10 PHENIX実験シリコン・ピクセル検出器の読み出し回路の開発(26aSD 粒子・光検出器,実験核物理領域)
- 大型陽子・陽子衝突型加速器実験のためのトリガー・読み出し回路用半導体素子の放射線耐性 (共用設備利用成果報告) -- (放射線基礎科学分野)
- 超電導超大型粒子加速器 (SSC) 計画における技術と材料
- 14p-E-8 マイクロプロセッサアレイによるインテリジェントトリガーシステムの開発
- 27aSC-7 ATRAS 前後カミューオントリガシステム用セクタロジックの開発 : 続
- 29a-YS-9 ATLASミューオン検出器のためのトレーリング・エッジ測定試験
- 12pSL-1 SOIプロセスを用いた検出器読み出し用耐放射線ASICの開発(12pSL DAQ・回路・計測,素粒子実験領域)
- 29pSP-11 MC を用いた Belle 崩壊点検出器 SVD1,2 におけるヒット点再構成法とその誤差, 及び実データとの比較
- C-11-2 完全空乏型SOI-CMOSを用いた遠赤外線センサー用極低温電子回路の開発(C-11.シリコン材料・デバイス,一般セッション)
- 24aZV-6 PHENIXシリコンピクセル検出器におけるボンディングワイヤの磁場中での共振現象と封止法(粒子・光検出器I,実験核物理領域)
- 21pTV-10 工作プラネタリウムを利用した科学広報活動報告(物理教育,領域13,物理教育,物理学史,環境物理)
- 26aSD-11 PHENIX実験用シリコンピクセル検出器のための量産組立て手順の開発(26aSD 粒子・光検出器,実験核物理領域)
- IEEE 1987 Nuclear Science Symposium
- SOI技術によるX線ピクセル検出器の開発
- 招待講演論文 SOI技術を用いた放射線イメージング検出器 (情報センシング)
- 27pGN-13 SOI技術を用いた読み出し一体型ピクセル検出器(積分型)の開発II(27pGN 素粒子実験領域,実験核物理領域合同素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体検出器),素粒子実験領域)
- 27pGN-12 SOIシリコン検出器の高比抵抗FZ基板の特性について(27pGN 素粒子実験領域,実験核物理領域合同素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体検出器),素粒子実験領域)
- 26aTN-9 SOIイメージセンサーのX線応用(26aTN X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 23aJA-13 SOI技術を用いた放射線ピクセルセンサーのX線応用(23aJA X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 18aSE-2 積分型SOI検出器のX線イメージングセンサとしての性能評価(18aSE 素粒子実験領域,実験核物理領域合同素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体・GEM・中性子検出器),素粒子実験領域)
- 17aSE-4 SOIピクセル検出器読み出し用汎用セルの評価(17aSE 半導体検出器・読出回路・超伝導検出器,素粒子実験領域)
- 27aFB-5 SOI技術を用いた積分型ピクセルセンサーの基本特性評価(27aFB 素粒子実験領域,実験核物理領域合同素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体検出器・飛跡検出器・SOI検出器),素粒子実験領域)
- 25aGJ-6 X線天文学向け積分型SOIピクセル検出器の開発(25aGJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 12pSG-2 環境放射線センサーのためのSOIピクセル検出器の開発(12pSG 素粒子実験領域,実験核物理領域合同,素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体・トラッキング・他),素粒子実験領域)
- 18pAG-10 SOI技術による高精細X線イメージセンサーの開発(18pAG X線・粒子線(X線),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 23aSL-2 放射線モニターのためのSOIピクセル検出器の性能評価(素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体検出器他),素粒子実験領域,実験核物理領域合同,素粒子実験領域)
- 23aSL-1 2重SOIおよびFZ-SOI基板を用いたSOI放射線センサーの開発(素粒子実験核物理測定器合同セッション(半導体検出器他),素粒子実験領域,実験核物理領域合同,素粒子実験領域)
- SOIピクセルイメージセンサと科学計測応用(固体撮像技術および一般)
- 30aTK-11 X線天文学向けSOIピクセル検出器のイベント駆動読み出しの評価(30aTK X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)