多段階生産システムでの工程間の因果関係に着目した品質改善対象工程の同定支援アプローチ
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概要
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本論文では,多段階生産システムにおける製造品質のレベルをそこで得られる製品の品質特性(製品特性)のばらつきによって評価したうえで,製造工程のロバスト性向上や要因管理によってそのレベルを向上させていくサイクルを効果的に回すための一つのアプローチを提案する.提案法では,技術者の知識や観測データに基づいて,各工程で作り込まれる半製品段階での中間特性と最終的な製品特性の間の因果関係をモデル化する.そして,得られた因果関係モデルに基づいて,各工程にロバスト性向上および要因管理を適用した場合に期待される改善効果をそれぞれ推定し,適用すべき品質改善策の種類とその対象工程の同定を支援する.最後に,半導体ウェーハ製造システムを想定した数値例に基づいて提案法が所期の機能を果たすことを確認する.
- 社団法人日本経営工学会の論文
- 2005-08-15
著者
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