PB35 超音波顕微鏡用音響レンズをめざしたシリコン単結晶の等方性エッチング(ポスターセッションB)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1992-11-30
著者
-
橋本 久儀
日立建機
-
佐藤 一雄
(株)日立製作所機械研究所
-
田中 伸司
(株)日立製作所機械研究所
-
石川 潔
日立建機(株)fa事業部
-
石川 潔
日立建機(株)
-
田中 伸司
日立機研
-
佐藤 一雄
日立機研
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