一次元正則化を用いたSEM-LSI画像のノイズ低減(画像・映像処理)
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概要
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SEM(走査型トンネル顕微鏡)で撮影されたLSIの拡大写真(以後,SEM-LSI画像と略する)を対象とした,一次元正則化を用いた輪郭保存型のノイズ低減法を提案する.この方法により,既存の二次元正則化によるノイズ低減法がもつ計算時間と必要メモリ量に関する問題点を解決することができる.提案手法では,まずSEM-LSI画像に対する二次元フィルタリングにより,輪郭位置を推定する.その情報をもとに,SEM-LSI画像の行方向についての一次元正則化を行った後,列方向について同様の処理を行ったものを結果とする.実験により,提案手法は二次元正則化に対して10分の1以下の計算時間,20分の1以下の必要メモリ量で,ほぼ同じ結果を与えることを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-06-01
著者
-
下野 哲雄
北海道東海大学工学部
-
白川 智昭
北海道大学 工学部
-
稲垣 潤
北海道東海大学工学部
-
下野 哲雄
東海大学大学院 理工学研究科
-
白川 智昭
東海大学大学院 理工学研究科
-
白川 智昭
北海道東海大学工学部
-
大野 健太郎
北海道東海大学工学部
-
大野 健太郎
北海道東海大学工学部:(現)(株)つうけんアドバンスシステムズ
-
下野 哲雄
北海道東海大学
-
白川 智昭
北海道東海大 工
-
稲垣 潤
北海道東海大学
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