SEMにより得られるLSI拡大写真の正則化によるノイズ低減法
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概要
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This paper proposes a method of noise reduction for LSI images obtained by Scanning Electron Microscopes (SEM). The proposed method consists of two steps, namely ensemble averaging and regularization. Ensemble averaging means smoothing using many SEM images of the same scene. To avoid the charge-up, we use only 16 images for averaging, which are enough to reduce large amplitude noise in SEM images. Regularization performs the edgepreserving smoothing. In contrast of the conventional non-linear regularization, the proposed method uses a simple, linear regularization because the position of edges can be detected precisely enough by the results of the previous step. The results of computer experiments are included to show the effectiveness of the proposed method.
- 北海道東海大学の論文
- 2004-03-25
著者
-
下野 哲雄
北海道東海大学工学部
-
白川 智昭
北海道大学 工学部
-
下野 哲雄
東海大学大学院 理工学研究科
-
白川 智昭
東海大学大学院 理工学研究科
-
白川 智昭
北海道東海大学工学部
-
大野 健太郎
北海道東海大学工学部
-
大野 健太郎
北海道東海大学工学部:(現)(株)つうけんアドバンスシステムズ
-
下野 哲雄
北海道東海大学
-
白川 智昭
北海道東海大 工
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