60GHz帯における酸素ガススペクトルの濃度特性とガス温度・圧力・濃度の診断法(観測・計測,<特集>観測・計測・探査における電波応用の最新技術論文)
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概要
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近年,環境計測用大気リモートセンシングにおける校正用データの取得またCVDを利用した高機能材料合成などの分野において,各種ガスの成分・温度・圧力等の観測が重要視されている.筆者らは,これらの要求にこたえるためミリ・サブミリ波帯のスペクトル計測を行うとともに,スペクトルを通してガス種・温度・圧力・濃度を同時に診断する方法を検討している.本論文ではまず酸素と窒素の混合により酸素濃度を変化させ,60GHz帯酸素スペクトルの濃度特性計測を行った結果について報告する.次にその結果とMPM92を用いて温度・圧力・濃度を変数としてもつスペクトルモデルを示す.更に温度・圧力・濃度をフィッティングによって診断する方法を提案し,本論文で示しているスペクトルモデルと実測のスペクトルを用い,提案方式の有効性を検討する.
- 2006-07-01
著者
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