0_2およびCO吸収スペクトラムの計測(レーダとその応用及び一般)
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概要
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CVD法による高機能材料の生成時や工場などから排出されるガスの分析などが求められている.これらの要求に応えるシステムとして,ミリ・サブミリ波帯に多数存在する分子の回転スペクトラムを利用することにより,ガスの組成,温度,圧力を同時にリアルタイムで計測可能なミリ・サブミリ波を用いたin-situガスセンサの研究を行っている.しかし,実現するにあたり各種ガスの吸収スペクトラムおよびパラメータを充実させる必要がある.本報告においては,大気中を伝搬するミリ・サブミリ波に減衰を与える大きな要因となる酸素の60GHz帯吸収スペクトラムの濃度特性計測と濃度特性を考慮した理論計算を示す.次にCVD法などで用いられる一酸化炭素の115GHz帯および345GHz帯吸収スペトラムの濃度特性の理論計算と計測を示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-04-23
著者
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