O_260GHz帯およびCO115GHz帯吸収スペクトラム計測
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概要
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CVD半導体材料合成におけるガス分析や大気伝搬特性のラボラトリ計測等様々な要求に応え得るシステムとして,筆者らはin-situガスセンサを提案している.in-situガスセンサはミリ・サブミリ波帯に存在する様々な分子の吸収スペクトラムを利用しガスの組成・温度などを計測する高精度・高機能なシステムである.しかし,これを実現するには様々なガススペクトラムのラボラトリ計測を通して理論式を示し,スペクトラムと組成・温度などの関係を明らかにすることが必要となる.本稿においてはまず60GHz帯大気中酸素及び純酸素スペクトラムの計測と純酸素スペクトラムモデルの導出について示す.次に一酸化炭素スペクトラムのモデルの導出と計測を併せて行い,その結果からスペクトラム計測による温度・圧力診断について示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-04-19
著者
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