水晶振動子マイクロバランス法を用いた有機薄膜形成過程の解析 : 薄膜成長モデルの基板温度依存性と蒸着分子の平均基板滞在時間(有機材料・薄膜・界面・デバイス/フィルムベースデバイスのための界面制御とプロセス技術)

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概要

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近年、電気・光学デバイス、保護膜、生体適合膜など幅広い分野で有機薄膜の適用が試みられている。各用途に最適な有機薄膜を作製するためには、分子設計のみならず、薄膜の構造制御も重要となり、薄膜作製パラメータの最適化と薄膜成長機構の解明が必要とされる。本研究では、水晶振動子マイクロバランスを用いて有機蒸着膜の成長過程をその場観測し、定量的な解析を試みた。その結果、蒸着挙動が基板温度などの作製パラメータの変化に非常に敏感であることがわかった。また、得られた付着量の時間変化に物理吸着を仮定した速度式の解をフィッティングする事で、蒸着分子の平均基板滞在時間を見積もった。
2009-05-15

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