真空蒸着重合法におけるモノマー分子の付着特性及び分子配向
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概要
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真空蒸着重合法における薄膜形成過程について、モノマー分子の付着挙動並びに分子配向挙動の観点から考察した。簡便な水晶振動子法を用いることにより金及び銀基板上への付着量を測定し、その時間変化から平均基板滞在時間を求め、さらに基板温度依存性から吸着エネルギーを求めた。また官能基で表面を被覆した活性表面上に分子が吸着する場合に、は化学結合により付着する化学吸着と分子間力などの物理的な力により付着する物理吸着の両者による吸着層が形成した。2種類のモノマー分子を交互に蒸着した場合には付着量の階段状増加が観測されたことから、GaAs超格子のような交互層の形成が推察された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-21
著者
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久保野 敦史
静岡大学物質工学科
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久保野 敦史
静岡大学工学部物質工学科
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奥居 徳昌
東京工業大学国際高分子基礎研究センター理工学研究科有機・高分子物質専攻
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久保野 敦史
東京工業大学工学部
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奥居 徳昌
東京工業大学・工学部
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