1.2 誘電体バリア放電におけるエネルギー分配機構とヒートマネジメント(1.はじめに,熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス)
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概要
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大気圧非平衡プラズマとして広く利用されているストリーマ形式の誘電体バリア放電(Dielectric Barrier Discharge,DBD)と,近年新たに考案された大気圧グロー放電(Atmospheric pressure glow discharge,APG)を取り上げ,両者を対比しながらプラズマの空間構造が大気圧非平衡プラズマ反応場の熱・物質移動現象におよぼす影響を明らかにした.入熱(消費電力)と抜熱(外部冷却回路)のバランスで決まる反応場の平均温度上昇に加え,発光分光分析によってプラズマ形成に伴う局所温度上昇を計測し,従来の熱伝導方程式による気体温度予測の問題点を明確化することで,DBD,APGにおけるヒートマネジメントの重要性を概説する.
- 2009-01-25
著者
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野崎 智洋
東京工業大学大学院理工学研究科
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野崎 智洋
東京工業大学 大学院理工学研究科
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野崎 智洋
東京工業大学大学院理工学研究科グローバルcoe
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野崎 智洋
東京工業大学
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野崎 智洋
東京工大 大学院理工学研究科
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