簡易ESD装置の開発とその適用検討 : ESD破壊現象の特定(機構デバイスの信頼性,信頼性一般)
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概要
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ESD耐量の調査と破壊防止を目的とした簡易なESD試験装置を試作した。装置は高電圧供給源とリレースイッチ及び、信号制御回路を有する。任意のモジュールを組込むことで代表的な3種類の静電気モデル(機械帯電モデル、人体帯電モデル、デバイス帯電モデル)を実現できる。この装置を用いて市販LSIの耐量や故障解析用サンプル造りに利用する。又、入出力回路部の短絡箇所検出のためのTLP評価試験の適用を検討する。
- 2008-02-08
著者
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