201 液中プラズマ化学蒸着法によるSiC薄膜の生成(材料力学IV)
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概要
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- 社団法人日本機械学会の論文
- 2006-02-23
著者
-
岡部 永年
愛媛大学大学院理工学研究科
-
野村 信福
愛媛大工
-
豊田 洋通
愛媛大工
-
野村 信福
愛媛大学
-
豊田 洋通
愛媛大 工
-
野村 信福
愛媛大
-
柴田 顕次
愛媛大・院
-
岡部 永年
愛媛大
-
豊田 洋通
愛媛大
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