266 磁性・非磁性金属多層膜堆積過程の分子動力学解析(製膜・膜特性,OSO7 電子・原子・マルチシミュレーションに基づく材料特性評価)

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-02

著者

• 新谷 一人

  電通大

• 米谷 雄介

  電通大院

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