538 コンプライアント基板上のヘテロエピタキシャル層の臨界膜厚の解析(材料力学-材料特性の解析)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-03-01

著者

• 新谷 一人

  電通大

• 大林 克至

  電通大院

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