533 ねじれ結合薄膜基板上のヘテロエピタキシャル層のひずみ緩和に及ぼすらせん転位列の影響

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-11-27

著者

• 新谷 一人

  電通大

• 大林 克至

  電通大院

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