5. 減圧アークによる表面処理(<小特集>材料プロセッシングを支える熱プラズマの新展開)

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概要

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有害成分が含まれる廃棄物の中には,鋼材表面酸化層内に低レベル放射性物質を含む金属廃棄物のような表面層にのみ有害成分が存在する場合があり,再資源化を行う上でこれら表面の処理が求められている.また,耐食性,耐摩耗性,耐熱性等を持った高機能膜は再資源化する際に,難処理膜となり再資源化の妨げになっている.このため,これらの有害表面層のみを効果的に取り除く技術として,現在,減圧下におけるアークを利用した表面処理・表面クリーニング手法が注目されている.本章では,直流アークプラズマの陰極点を利用した金属表面処理・表面クリーニングを紹介する.
2006-08-25

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