7.次世代携帯端末向けRF MEMS可変容量(<小特集>ブロードバンド無線通信を支えるマイクロ波ミリ波技術)
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概要
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次世代携帯端末への搭載を目指して研究開発が進められているRF MEMSの動向について解説する.特に,MEMSスイッチや可変容量を携帯端末向けに実用化するための条件を,駆動方式に重点を置いて解説する.また低消費電力・低電圧駆動が可能な駆動方式の一例として,筆者たちが試作した圧電・静電ハイブリッド駆動方式のMEMS可変容量を紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-04-01
著者
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