(7)低エネルギーイオン支援による薄膜の機械特性の改質と評価手法の開発(技術奨励,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-05-05
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