入力・横揺れ制約を考慮した真空環境用二軸ウエハ搬送ロボットの制御系設計と実験による検証(機械力学,計測,自動制御)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper considers the positioning control of wafer transfer robots. In order to improve the productivity of semiconductors, the control system for wafer transfer robots is required to achieve high-speed transfer and highly accurate positioning. However, it is not easy to achieve such performance since the robots have non-linear properties. In this paper, we consider the positioning control of the robots by switching controllers which are designed using Loop Shaping Design Procedure. We evaluate the effectiveness of this proposed method through experiments.
- 2006-04-25
著者
-
平田 研二
奈良先端科学技術大学院大学
-
大原 伸介
山梨大学大学院医学工学総合研究部情報システム工学系
-
平田 研二
大阪大学大学院工学研究科
-
平田 研二
長岡技術科学大学機械系
-
大原 伸介
大阪大学大学院工学研究科
-
太田 快人
大阪大学大学院工学研究科
関連論文
- オブザーバ型部分スイッチング制御則による拘束システムの安定化
- ポリスチレン粒子テンプレート法による濃縮・分離用シリカナノ構造体の作製・評価
- The 10th IFAC/IFORS/IMACS/IFIP Symposium on Large Scale Systems : Theory and Applications
- むだ時間と拘束条件を考慮したRCヘリコプタの制御系設計と実験による検証(機械力学,計測,自動制御)
- 時変の目標値に対して拘束条件の達成を考慮した静的補償器のスイッチング制御法および制御検証実験(機械力学,計測,自動制御)
- 時変の目標値に対して拘束条件の達成を考慮した静的補償器のスイッチング制御法および制御検証実験
- 入力・横揺れ制約を考慮した真空環境用二軸ウエハ搬送ロボットの制御系設計と実験による検証(機械力学,計測,自動制御)
- RCヘリコプタに対するリファレンスガバナの実験による検証(機械力学,計測,自動制御)
- あるクラスの非線形システムに対する最大出力許容集合の構成手順
- 変数のブロッキングを用いて表現される拘束システムに対するリファレンスガバナの構成法
- あるクラスの不確かなシステムに対する拘束条件の解析
- 参照入力集合のパラメトリゼーションにもとづく拘束システムの制御 : リファレンスガバナの実現と実験による検証
- 区分的二次な蓄積関数による区分的アフィンシステムのL_2ゲイン解析
- 状態アフィン関数表現によるリファレンスガバナの構成法と制御検証実験
- 不変集合を利用した拘束システムの解析と制御系設計への応用(制約条件を考慮したシステム制御の新展開)
- 精度を保証した線形離散時間システムの状態可到達集合推定
- リファレンスガバナによる拘束システムの制御検証実験(機械力学,計測,自動制御)
- Reference+Governor=リファレンスガバナ
- 拘束条件の達成を考慮したリファレンスガバナの実現
- 340 リファレンスガバナを利用した拘束システムの制御(アドバンスト制御理論応用III)(OS アドバンスト制御理論応用)
- 拘束システムに対する出力フィードバックスイッチング制御則の構成法
- 左シフト不変部分空間でのリフティングを用いたハンケル作用素, 混合ハンケル・テプリッツ作用素の特異値公式
- 関数解析-直交射影と双対性を中心にして
- 補間点拡大法のL_1, H_∞制御問題での収束性に関する考察
- 線形ダイナミカルシステムの故障診断
- 多入力多出力l1-制御問題の最適解--1-ブロック問題の場合
- 多入力多出力伝達関数の正実現のための必要十分条件(短報)
- 線形連続時間制御系に対する最大出力許容集合・可到達集合の近似
- ロバスト制御を学ぶための本(定評ある教科書・古典的書籍)
- 離散時間システムに対する最適な不変集合 : 有界入力に対する可到達集合の近似
- 双対原理を用いたLPVシステムのL^2ゲイン解析
- 状態や入出力が制約されたシステムの制御(制約条件を考慮したシステム制御の新展開)
- 制御のための数学 : 学習のヒント
- 多目的l_1制御における双対問題
- 周波数応答制約のあるl_1制御への双対定理の適用
- 時間応答制約を含むl_1最適制御
- 制御理論と双対性
- 準分離核をもつ積分作用素と線形システム解析 (システム工学への数理的アプローチ特集号)
- フーリエ・ラプラス変換
- ≪第3回≫複素解析-コーシーの定理を中心にして
- 第1回 線形代数-特異値分解を中心にして
- 入力むだ時間系のハンケル特異値 -準分離型積分核のグラミアンをもつクラス-
- 「適応機構を含む制御総合特集号」を編集して (適応機構を含む制御総合特集号)
- 制御関係のインターネット情報
- 非有理比の遅れをもつ入力むだ時間系のハンケル特異値
- L_1制御の最近の話題
- IMAロバスト制御理論ワークショップに参加して
- The 30th IEEE Conference on Decision and Control に参加して
- 参照入力集合の連結にもとづく拘束システムの制御
- 外部入力を有する拘束システムに対するスイッチング状態フィードバック制御則の構成法
- スイッチング出力フィードバック制御による拘束システムの安定化
- スイッチング制御
- 入力に制限を有する線形離散時間システムに対するスイッチング状態フィードバック制御則の構成法
- 外部入力を有する線形離散時間システムに対する拘束条件の解析
- The 38th IEEE Conference on Decision and Control