シリコンCZ法融液内自然対流に対するルツボ寸法の影響(オーガナイズドセッション4 材料創成プロセスと熱工学)
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概要
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Silicon melt flow structure during the CZ crystal growth process, which seriously affects the obtained crystal quality, has been investigated numerically. In this study, effect of crucible size as well as temperature distribution along side crucible wall on the silicon natural convection has been considered extensively by using 3D flow simulation code. If the crucible size is increased, the effect of temperature distribution along the side crucible wall is neglected; the melt flow structure becomes completely three-dimensional and time dependent even if the upper wall temperature is decreased. The macroscopic temperature fluctuation can be easily observed through spoke pattern, which generated at the melt free surface.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-10
著者
-
染矢 聡
(独)産業技術総合研究所
-
染矢 聡
東京大学大学院
-
宗像 鉄雄
産総研
-
宗像 鉄雄
(独)産業技術総合研究所エネルギー利用研究部門
-
染矢 聡
産総研
-
染矢 聡
(独)産業技術総合研究所:東京大学大学院新領域創成科学研究科
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