多光束レーザー干渉法による微細周期構造物作製手法の開発(S55-2 レーザ加工(2),S55 レーザ加工)
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概要
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We report the method to fabricate micro-periodic structures using interference of femtosecond pulses (Wavelength 800nm; Pulse duration 150 femtosecond; Repetition Rate 1kHz). The method is based on pulse division using diffractive beam splitter and facilitates a spatio-temporal overlap of constituent pulslets. We demonstrate interference patterns formed by several pulslets and successful fabrication 1-, 2- and 3-dimensional micro periodic structures after a few minutes exposure of a commercial photosensitive resin (SU-8; Microlithography Chemical Corp.) with micrometer resolution.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2004-09-04
著者
-
三澤 弘明
北海道大学電子科学研究所
-
松尾 繁樹
徳島大学大学院工学研究科
-
Saulius Juodkazis
北大電科研
-
三澤 弘明
北大電科研
-
三澤 弘明
北海道大学 電子科学研究所 & Jst-crest
-
松尾 繁樹
徳島大学 ソシオテクノサイエンス研究部
-
近藤 敏明
北大
-
Vygantas Mizeikis
北大
-
松尾 繁樹
The University Of Tokushima
-
三澤 弘明
北大 電子科研
-
三澤 弘明
北大
-
Saulius Juodkazis
北大
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