2920 フェムト秒パルスレーザを用いた金属の微細孔加工
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概要
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It has been established that femtosecond pulse laser is a useful tool for direct microfablication of solid materials. We investigate micro-drilling of the small and deep holes into stainless steel plates with femtosecond laser pulses. We have adjusted beam diameter and focus length of lens, which determines the diameter of laser beam at the focus, and obtained holes with 180μm diameter by using an objective lens of 31mm focus length and 4mm beam diameter. But it isn't deep enough to utilize in many industrial applications. For making much deeper holes, we have demonstrated laser-scanning ablation by using galvanometer scanner, and also the ablation in low vacuum atmosphere.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
著者
-
松尾 繁樹
徳島大学大学院工学研究科
-
三澤 弘明
北海道大学 電子科学研究所 & Jst-crest
-
奥野 紘規
徳大院工
-
松尾 繁樹
徳大院工
-
ヨードカシス サウリウス
徳大院工
-
三澤 弘明
徳大院工
-
松尾 繁樹
The University Of Tokushima
-
ヨードカシス サウリウス
北海道大学 電子科学研究所 & Jst-crest
-
三澤 弘明
北大 電子科研
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