干渉分光データのウェーブレット処理によるシリコン微細溝形状測定シミュレーション
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概要
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2次元ガウスビームをシリコンのトレンチに照射した際の干渉分光波形を、境界要素法を用いて求めている。干渉分光波形は、シリコンの誘電率の周波数分散を考慮し、溝幅が光波の遮断波長に近いところで、深さや偏光を変えて求めている。そして、干渉分光波形をウェーブレット処理してトレンチの深さ測定を行っている。この方法では、時間と周波数を同時に調べる事が出来るため、遮断の現象がある場合も、正確に調べる事が出来る。そして、深さとスケールの逆数が比例関係にあり、深さ測定が可能であることを示している。また、テーパ形トレンチについても解析を行っている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-02-15
著者
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