干渉分光データのFFT処理による誘電体トレンチ深さ測定シミュレーション
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概要
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誘電体のトレンチに対し, 2次元ガウスビームのスポットサイズを溝幅より大きくして照射して, 干渉分光波形を境界要素法を用いて求めている. そして, 干渉分光波形の絶対値をとってFFT処理し, トレンチの溝幅が光波の遮断波長に近い場合のトレンチの深さ測定の限界を調べている. そして, 誘電体の場合にも, 溝幅が遮断幅に近づくと深さが深く測定されることが確認している. また, 観測角度を正面方向から変えることにより, トレンチ表面からの反射波を取り除くことが出来て, 誘電率が小さい場合にも深さ測定が可能になることを示している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-10
著者
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