Klopfenstein及びHeckenテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる階段近似解析
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
K1opfenstein形及びHecken形マイクロストリップ線路の特性を、特性インピーダンスより実際の線路幅を求め、マイクロストリップ線路のテーパ部の散乱係数を、不連続部の導波管モデル解析に基づき、一般化散乱行列法を用いてテーパを階段近似して解析している。そして、特定の周波数で反射係数が最初に小さくなるテーパ長は、入出力部でステップをもつλ/4変成器、K1opfensteinテーパ、指数テーパ、Heckenテーパの順に長くなっていくことを示している。そして、特定の周波数付近での使用したい帯域に応じて、パラメータを適当に選んで最適テーパ形状を選ぶことが可能であることを示している。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-02-17
著者
関連論文
- C-2-77 Klopfenstein及びHecken形マイクロストリップ線路テーパの導波管モデルによる階段近似解析
- Klopfenstein及びHeckenテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる階段近似解析
- Klopfenstein及びHeckenテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる階段近似解析
- Klopfenstein及びHeckenテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる階段近似解析
- Klopfenstein及びHeckenテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる階段近似解析
- サブグリッド法を用いたFDTD法による半導体微細溝のscatterometry計測
- RCWA法による次世代半導体線路幅形状のscatterometryの計測
- 斜め入射を考慮したFDTD法による次世代半導体線路幅形状のscatterometry計測
- 干渉分光データのウェーブレット処理によるシリコン微細溝形状測定シミュレーション
- 干渉分光データのウェーブレット処理による誘電体トレンチ深さ測定
- C-3-51 干渉分光データのウェーブレット処理による誘電体トレンチ深さ測定シミュレーション
- KlopfensteinおよびHeckenテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデルによる最適設計
- 干渉分光データの信号処理による誘電体トレンチ深さ測定シミュレーション
- 干渉分光データのFFT処理による誘電体トレンチ深さ測定シミュレーション
- n乗コサインテーパ形マイクロストリップ線路の導波管モデル解析と設計チャート
- 干渉分光データの信号処理によるトレンチ深さ測定シミュレーション
- 干渉分光信号の信号処理による半導体微細溝深さ測定シミュレーション
- 干渉分光データの信号処理によるトレンチ深さ測定シミュレーション
- 光波による半導体トレンチの深さと溝幅測定
- 分光エリプソメーターによる形状計測 (特集 最近話題の光形状計測)