LSI故障解析技術(<特集>故障の診断・解析評価・予測)
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概要
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我々は9つの技術から成る故障解析統合システムを開発してきた。このうち3つの技術を紹介する。RAMのメモリセルの故障原因を特定するエキスパートシステム、ロジックLSIおよびRAMの周辺回路の故障箇所を特定する電子ビーム電位像を用いた技術である。すでに多くの故障に対して広く適用されている。
- 日本信頼性学会の論文
- 1996-02-10
著者
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小西 永二
日本電気株式会社材料部品分析評価センター
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辻出 徹
日本電気株式会社材料部品分析評価センター
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中村 豊一
日本電気株式会社材料部品分析評価センター
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二川 清
日本電気株式会社材料部品分析評価センター
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浜田 弘幸
日本電気株式会社材料部品分析評価センター
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