2B-1 動的故障像取得法(AFI法)によるLSIの故障解析(第3回信頼性研究発表会REAJ)

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概要

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• 日本信頼性学会の論文
• 1995-05-10

著者

• 小西 永二

  日本電気株式会社材料部品分析評価センター

• 中村 豊一

  NEC材料部品分析評価センター

• 和田 慎一

  NEC材料部品分析評価センター

• 黒田 英彦

  NEC研究開発技術本部

• 諸橋 賢治

  シュルンベルジェ(株)

• 小西 永二

  NEC材料部品分析評価センター

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