動的故障像取得によるLSIの故障箇所絞り込み
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概要
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新しく開発した電位故障像取得方法、これを動的故障像取得法と呼ぶが、これによって、実時間で直接に故障像を取得することが可能になった。この方法では、従来のように良品像と不良品像のイメージファイルを扱ってその差を演算して故障像を抽出する必要がなくなった。以前に開発した高速電位像取得方法(CGFI法)によって得られた良品像と不良品像をCRT画面上の同一箇所で交互に比較的速く(秒単位以下程度)表示することにより、この効果が得られる。故障が起こっている箇所では他の箇所と異なって電位像の明度が異なるので先の様に交互表示させたときに点滅してみえる。この手法をマージナル故障を呈する実際の不良品に適用したところ、従来数時間掛かっていたものが僅か10分で絞り込む例が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-03-18