ワイブル分布を仮定したLSIのスクリーニング時間決定方法の検討(第10回信頼性シンポジウムREAJ)

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概要

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• 半導体メーカーにおいては従来よりバーインによりスクリーニングを実施しているが、近年バーインでの不良の収束性の悪い(複合ワイブル分布ではなく、初期不良分布をとる)デバイスが現れてきている。そこで、このような初期不良型の分布をしているデバイスに対するバーイン時間計算法の検討を行った。著者らは以前にこのような分布を取る場合の簡便な計算法について報告しているが、今回はこの簡易計算法の検証およびバーイン時間に対するパラメータ依存性についてシミュレーションを行った。

• 1997-11-10

著者

• 瀬戸屋 孝

  株式会社東芝

• 中村 孝司

  株式会社東芝半導体品質保証部信頼性技術第二担当システムlsi品質信頼性技術担当

• 瀬戸屋 孝

  (株)東芝 半導体品質保証部 信頼性技術第二部lsi信頼性技術第一担当

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