先端半導体LSIデバイスの高信頼性技術(高信頼性半導体デバイスを目指して)
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概要
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DVDレコーダー,薄型テレビ,デジタルカメラ,携帯電話等のデジタル機器に使用される先端半導体LSIデバイスでは,微細化,高機能化,高性能化が進み,現在90nmプロセスルールのデバイスが量産段階にあり,65nmプロセスデバイスも量産が開始されている。これらの先端プロセスに於いては物理限界領域での信頼性保証技術が重要になってきている.つまりこれら先端半導体デバイスでは,プロセス開発,回路設計,ウェハー製造工程で連携して信頼性を確保する必要があり,不良モード毎に製造パラメータを管理して信頼性を保証する必要が必須になってきている.ここではこれらの先端半導体LSIデバイスの高信頼性技術について概要を説明する.
- 2007-11-01
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