PN接合のESD破壊メカニズムの検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
PN接合のESD破壊モードについて、その破壊エネルギー密度の点から検討を行った。その結果、低い抵抗状態(例えばMM破壊)の放電では熱拡散を伴わない断熱破壊になり、高抵抗状態(例えばHBM破壊での放電)では、熱拡散を伴う過渡的な中間領域の破壊あるいは平衡領域の破壊を起こす事が、Wunsch-Bellプロットを行う事によりわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-11-10
著者
-
瀬戸屋 孝
(株)東芝 半導体品質保証部 信頼性技術第二部lsi信頼性技術第一担当
-
若井 伸之
(株)東芝 半導体品質保証部 信頼性技術第二部LSI信頼性技術第一担当
-
堤 雅義
東芝マイクトロニクス株式会社信頼性ラボラトリー