Evaluation of Hot-Hole-Induced Interface Traps at the Tunnel-SiO_2 (3.5 nm)/Si Interface by the Conductance Technique
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Hot-hole-induced interface degradation in ultrathin (3.5 nm) oxides has been evaluated by the small-signal AC conductance technique. To degrade the tunnel-SiO_2/Si interface, holes are injected by the avalanche technique. The conductance technique makes it possible to estimate the number of interface traps even when there are a large intrinsic tunneling leakage before injection and a large stress-induced leakage current after injection. Experimental results show that holes can create acceptor-like interface traps at the tunnel-SiO_2/Si interface and that the conventional reliability test comprising carrier injection and interface-trap estimation is still applicable to oxides as thin as 3.5 nm.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1997-03-30
著者
-
小林 孝嘉
東京大学理学系研究科
-
Ogawa Shinji
Department Of Electrical And Electronic Engineering And Information Engineering Nagoya University
-
KOBAYASHI Toshio
NTT System Electronics Laboratories
-
SAKAKIBARA Yutaka
NTT System Electronics Laboratories
-
Ohsaki Shintaro
Department Of Electrical And Electronic Engineering And Information Engineering Nagoya University
-
Sakakibara Y
National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology (aist)
-
Nakayama S
Sii Nano Technology Inc.
-
OGAWA Shigeo
NTT System Electronics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
-
NAKAYAMA Satoshi
NTT System Electronics Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corporation
関連論文
- 研究ニュース
- 定年退職者あいさつ
- 29p-ZG-2 フェムト秒チャープパルスによる有機色素の励起状態分布数制御
- 26a-YN-9 ポルフィリンJ会合体におけるフェムト秒カー緩和の会合度依存性
- 26a-YN-8 ポルフィリンJ会合体のキラル構造
- 26a-YN-7 ポルフィリンJ会合体の会合平衡
- 25p-YN-2 一次元ジオキシム金属錯体バンド間吸収におけるフランツ-ケルディッシュ効果
- 25p-YN-1 一次元ジオキシム金属錯体の励起子における外部電場効果と光伝導度
- 25a-YN-8 ポルフィリンJ会合体の20fs分光
- 2a-YG-12 ポルフィリンJ会合体の磁気円偏光二色性
- 2a-YG-11 ポルフィリンJ会合体のフェムト秒カー緩和
- 1p-YH-10 サニャック干渉計によるポルフィリンJ会合体のフェムト秒位相分光
- 8a-G-13 シアニンマクロ会合体の電場変調スペクトル
- 8a-G-12 シアニンJ会合体の顕微分光
- 8a-G-11 配向したポルフィリンJ会合体の電場変調吸収
- 8a-G-8 ポルフィリンJ会合体の直線偏光二色性
- 6p-G-11 フェムト秒サニャック干渉計による偏光選択位相スペクトル測定
- 28p-YA-8 非平行位相整合によるフェムト秒光パラメトリック増幅器
- 階層構造J会合体の電場誘起吸収
- フェムト秒サニャック干渉計を用いた複素感受率の測定
- 3a-Y-3 J会合体の階層構造II : メゾ会合体とマクロ会合体
- キャリヤーエンベロープ位相制御下での有機分子の光ポーリング
- 2005年ノーベル物理学賞; Roy J. Glauber氏, John L. Hall氏, Theodor W. Hansch氏
- 21aYD-4 アゾ色素の超高速分光(超高速現象・格子振動・緩和励起子,領域5(光物性))
- 19aYD-5 ポリフェニレンビニレンのフェムト秒時間分解分光(超高速現象,領域5(光物性))
- 21pWA-9 光子数識別器を用いた量子鍵配布実験(量子エレクトロニクス(量子光学),領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 25aXP-3 チオフェンオリゴマーの超高速分光(超高速現象,領域5(光物性))
- 第14回超高速現象国際会議報告
- 15aTG-3 非平行光パラメトリック増幅器による搬送波包絡振幅位相制御光パルスの発生(量子エレクトロニクス, 領域 1)
- 14pTF-14 波長多重量子暗号鍵配布光源の開発及びその評価(量子エレクトロニクス : 量子光学, 領域 1)
- 14pTF-12 パラメトリノク下方変換光を用いたゲート 1 光子源の光子数識別による量子鍵配布の安全性およびヒソトレートの向上(量子エレクトロニクス : 量子光学, 領域 1)
- 29pXQ-3 ポリジアセチレンのフェムト秒実時間分光II(超高速現象)(領域5)
- 29pXQ-2 ポリジアセチレンのフェムト秒実時間分光I(超高速現象)(領域5)
- 29pXG-3 光ファイバを用いた周波数量子相関(量子エレクトロニクス(量子光学))(領域1)
- 20aTJ-10 フタロシアニン錯体の高速分光
- 20aTJ-9 無機有機層状ペロブスカイト半導体の超高速分光
- 21pTF-7 光子対の周波数の量子相関を用いた分光測定
- 28aYF-6 サブ 4 フェムト秒超短パルスを用いた超広帯域テラヘルツ光発生
- 28aYF-5 フタロシアニン錫のポンプ=プローブ法による超高速分光
- 光パラメトリック発振器による可視域フェムト秒パルスの高効率発生 : 緑色-橙色の大出力高繰返しフェムト秒光源
- CLEO/QELS'99報告
- 30p-W-9 水素結合中のプロトンポテンシャルの制御
- 研究紹介
- 17aRE-7 3.9フェムト秒可視光パルス発生
- 25pXD-12 有機無機複合多層膜のフェムト秒実時間分光
- 22pXD-5 Ndガラス中のサブ2Ofsパルス伝播
- 28a-ZG-12 フランフルギドのマイクロ秒時間分解吸収スペクトル
- Improved Stability of Metal-Insulator-Diamond Semiconductor Interface by Employing BaF_2 Insulator Film
- Dependence of Hot Electron Transport on Base Layer Thickness of Magnetic Tunnel Transistor
- 29pYA-7 量子テレポーテーションのコヒーレント基底による解析
- 量子テレポーテーション (特集 量子情報と量子コンピュータ--量子力学と情報科学の壮大な融合)
- 25pXD-8 ポルフィリンJ会合体のサブ5fs分光II
- 25aYB-2 ポリジアセチレンのサブ5fs実時間分光
- 研究紹介
- 17aRE-6 アゾベンゼンのサブ5フェムト秒実時間分光 II
- 17aRE-5 トランスポリアセチレンにおけるブリーザの形成とその緩和
- 28aYA-5 ナノポリアセチレンのサブ5フェムト秒実時間分光
- 25pXD-10 アゾベンゼンのサブ5フェムト秒実時間分光
- 23aN-1 有機色素分子/高分子のサブ5フェムト秒実時間分光II : 分子振動の自己誘導振幅・周波数変調
- 25aYB-8 バクテリオロドプシンのサブ5フェムト秒実時間分光
- 25aYB-7 有機色素分子/高分子のサブ5フェムト秒実時間分光
- 25aYB-6 擬一次元ハロゲン架橋金属錯体の5fs時間分解分光
- 28aYA-6 ポルフィリンJ会合体の実時間分光
- 29p-ZG-1 光カーゲート法によるポルフィリンJ会合体の時間分解発光分光
- 25a-YN-7 ポルフィリンJ会合体のフェムト秒ポンプ・プローブ分光
- 超短パルスレーザーの発展と分析への応用
- 固体物理学の周辺 超短パルスレーザーを用いた凝縮系物質の超高速動的過程の研究
- 非線形光学
- 20aTJ-7 サブ 5 フェムト秒実時間分光法で観る励起状態のダイナミクス
- 4-2 フェムト秒パルスレーザを用いた超高速分光(4.フェムト秒加工・計測(次世代産業基盤を支えるフェムト秒テクノロジーの動向))
- 分光学における極限を探る : II. 極限的時間分解分光
- 超短パルスレーザーで解明する視覚初期過程の分子機構
- サブ5fsパルスの発生と超高速分光法
- 超短パルスレーザーによる光生物初期過程の分子機構解説--視覚を例として (特集ライフサイエンスフォトニクス)
- Correlations of measurement information and noise in quantum measurements with finite resolution (Analytical Study of Quantum Information and Related Fields)
- フェムト秒実時間分光法 : 超高速ダイナミクスへの応用
- Light-Emitting Substituted Polyacetylenes
- Conducting Polymer-C_ Heterojunctions : Polarity-Independent Electroluminescent Cells
- Electroluminescent Devices Based on Poly (diphenylacetylene) with Carbazolyl Side Groups
- 29p-YE-7 まとめ:凝縮系の超高速過程-フェムト秒分光の現状と今後の課題
- Blue Electroluminescence of Substituted Polyacetylenes
- Green Electroluminescent Emission from Substituted Polyacetylenes
- 26a-YN-15 ポリジアセチレンの第3高調波発生のスペクトル
- 26a-YN-14 ポリジアセチレンの近赤外フェムト秒分光
- 29aYA-9 Kerr 媒質中の伝播による Schrodinger-cat-like state 発生の解析
- 17aRE-8 ISCによるフェムト秒パルス評価
- 有機非線型光学材料 (特集:有機材料)
- 超短パルスレーザ広帯域測定装置の開発による高精度時間分解分光計測技術
- 視点-光る 光を感じる生体高分子の光検出機構
- 研究ニュース
- X-Ray Photoelectron Spectroscopy Characterization of Diamond Thin Film Surfaces for Electronic Device Application
- Electrical Properties of Al/(Ba_XCa_)F_2/i-Diamond Metal-Insulator-Semiconductor Structures
- Electrical Stabilization of Diamond MIS Interface by Employing BaF_2 Insulator Film and Application to Diamond MISFETs
- 27pXA-11 近接場光学顕微吸収分光システムの開発とポリジアセチレン微結晶への応用
- 27pXA-11 近接場光学顕微吸収分光システムの開発とポリジアセチレン微結晶への応用
- 29pYG-3 MXのフェムト秒分光
- 28aYA-7 ポリジアセチレン誘導体の超高速中赤外吸収分光II
- 25pXD-9 ポリジアセチレン誘導体の超高速中赤外吸収分光
- 31p-ZH-10 擬一次元ハロゲン架橋金属錯体Pt-Brにおける中性ソリトンの動的過程
- 25p-YN-6 擬一次元ハロゲン架橋金属錯体(Pt-Br,Pt-I)の自己束縛励起子、荷電ソリトンの超高速緩和過程