Poly-Silicon Thin-Film Transistors with Uniform Performance Fabricated by Excimer Laser Annealing
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-01-30
著者
-
Kato Nobuhiro
Osaka Prefecture University College Of Engineering Department Of Mechanical System Engineering
-
ASAI Ichirou
Electronic Imaging and Devices Research Laboratory, Fuji Xerox Co., Ltd.,
-
KATO Noriji
Electronic Imaging and Devices Research Laboratory, Fuji Xerox Co., Ltd.,
-
FUSE Mario
Electronic Imaging and Devices Research Laboratory, Fuji Xerox Co., Ltd.,
-
HAMANO Toshihisa
Electronic Imaging and Devices Research Laboratory, Fuji Xerox Co., Ltd.,
-
Hamano T
Electronic Imaging And Devices Research Laboratory Fuji Xerox Co. Ltd.
-
Fuse M
Electronic Imaging And Devices Research Laboratory Fuji Xerox Co. Ltd.
-
Kato N
Kinki Univ. Wakayama Jpn
-
Kato Noriji
Electronic Imaging And Devices Research Laboratory Fuji Xerox
-
Asai Ichirou
Electronic Imaging And Devices Research Laboratory Fuji Xerox Co. Ltd.
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