パルスレーザー励起源としての放電プラズマ
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概要
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Pulse discharge phenomena of TEA-CO_2 laser and XeCl excimer lasers are reviewed with emphasis on high power and high-repetitive operation. First, the configuration of a laser system capable of high-repetitive operation is shown. Then, using a model, we show the process of formation of=a glow discharge for exciting a laser. Pre-ionization technique and fast rising voltage circuit are the key technologies for producing uniform glow discharges. Typical excitation circuits are also skown to review the advances in methods of discharge formation. Finally, we describe the recent trend toward higher-repetitive operation and explain the relationship between the discharge instability and the perturbation of gas density.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1994-10-25
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