27pA25P CCUP法を用いた高周波誘導結合プラズマ装置内部における微粒子挙動の解析(プラズマ基礎・応用)

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概要

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• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2001-11-20

著者

• 畑山 明聖

  慶大理工

• 大西 純

  慶大理工

• 秋山 尚樹

  慶大理工

• 畑 和幸

  慶大理工

• 大西 卓哉

  (株)東芝

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