27pA24P RF-ICP装置内背景プラズマ及び注入粒子の挙動解析(プラズマ基礎・応用)

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概要

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• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2001-11-20

著者

• 畑山 明聖

  慶大理工

• 大西 純

  慶大理工

• 秋山 尚樹

  慶大理工

• 新矢 貴章

  慶大理工

• 清野 直希

  慶大理工

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