3〜5μm帯64×64画素HgCdTe IRCCD(<論文特集>固体撮像技術)
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概要
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HgCdTe光起電力アレイとSi-CCDからなる3〜5μm帯64×64画素2次元IRCCDを試作した.本IRCCDでは, ダイナミックレンジを拡大するため, (1)飛越走査(インタレース)読出し方式と, (2)蓄積・転送共通電極構成を採用した.この結果, CCDマルチプレクサの最大転送電荷量を1.1×10^7電子と従来型に比べ2.6倍に増大できた.赤外センサ特有の出力ばらつきを補正するため, 直流オフセット補正と感度補正の2種の補正を行う方式を採用した.信号処理回路にはディジタルシグナルプロセッサ(DSP)を用い, 小型・高精度な処理回路を実現した.このIRCCDの平均D^*_<λP>は, ピーク波長4.7μmで, 1.8×10^<11>cm Hz^<1/2>W^<-1>(F/1光学系, 積分時間50μs)が得られた.ダイナミックレンジは画素間ばらつきを考慮して500倍である.また, 信号処理回路で補正を行い, 温度分解能(NETD)0.1K以下のリアルタイム熱画像を得ることができた.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1987-11-20
著者
-
伊藤 雄一郎
株式会社富士通研究所基盤技術研究所
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角田 令吉
防衛庁技術研究本部
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石崎 洋之
株式会社富士通研究所基盤技術研究所
-
菅野 俊雄
防衛庁技術研究本部
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谷川 邦広
株式会社富士通研究所
-
谷川 邦広
富士通研究所厚木研究所赤外デバイス研究部
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