マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数に及ぼす影響
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概要
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マイクロカンチレバー上に形成した金属膜の機械的共振周波数への影響に関して検討した。片持組合梁のモデルを用いて導出した式の計算値と試作した複合構造のマイクロカンチレバーの測定共振周波数がほぼ一致し, 最高1.07MHzの共振周波数を実現した。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1997-06-12
著者
-
横山 和夫
松下電器産業(株)中央研究所
-
黒江 章郎
松下電器産業(株)映像音響情報研究所
-
村松 小百合
松下電器産業(株) AVC商品開発センタ
-
村田 明夫
松下電器産業(株) AVC商品開発センタ
-
楠本 修
松下電器産業(株)中央研究所
-
村松 小百合
松下電器産業(株)
-
黒江 章郎
松下電器産業(株) Avc商品開発センタ
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