高周波キャリア型磁気センサーの数値解析
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概要
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Large-scale elements of high-frequency carrier-type magnetic sensors were fabricated by using the photolithographic technique, and the impedance variation rate of the elements was investigated experimentally and theoretically.It was found that the resistance component of the impedance varied drastically, and the impedance variation rate was measured at 87%, using an Fe-Ta-N film.A high-frequency signal level of 5mV_<pp>μm and an impedance variation rate of 94% for a 0.5 μm track width were calculated by using theoretical formula.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2000-04-15
著者
-
小林 正明
松下電器産業株式会社 Avc商品開発研究所
-
黒江 章郎
松下電器産業(株)映像音響情報研究所
-
小林 正明
松下電器産業
-
村松 小百合
松下電器産業(株) AVC商品開発センタ
-
村田 明夫
松下電器産業(株) AVC商品開発センタ
-
村松 小百合
松下電器産業(株)
-
小林 正明
松下電器産業(株) Avc商品開発センタ
-
黒江 章郎
松下電器産業(株) Avc商品開発センタ
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