回折形静電マイクロ光スイッチ

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概要

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回折形静電マイクロ光スイッチは反射形の中空グレーティング構造を有した新しいマイクロマシンデバイスである。中空グレーティングを静電力駆動によりわずか1/4波長程度上下動させるだけで入射光の位相を制御し、光スイッチとして動作(0次回折光の強度変調)させることができる。そのため、デバイスの小型・薄型・軽量化や半導体プロセスによる一括大量生産が可能になり、またその動作原理からデバイスの長寿命化、低消費電力化も達成することができる。今回、作製が容易な赤外光用の光スイッチを設計・作製し、変調効率特性の評価を行うとともに、種々の用途に対応させるための設計パラメータを明らかにした。
社団法人電子情報通信学会の論文
1996-03-11

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