ac形プラズマディスプレイの保護層MgOの膜質評価 : 情報入力,情報ディスプレイ
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概要
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Presently the MgO films in ac plasma display panels(ac-PDPs) are deposited by electron beam evaporation method. It is expected that the forming process is simplified by applying screen printing technology. Therefore it is necessary to research the detailed mechanisms of annealing of the evaporated MgO films. So far, the influences of annealing process on evaporated MgO films were investigated by ESCA and FTIR. These results showed that two endothermic reactions were caused of the dehydration of OH groups in MgO films. In this paper, the values of activation energy on each reaction were calculated from DSC measurements. Also we fabricated ac-PDPs with MgO films by screen printing, and investigated problems by ESCA and XRD.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1991-06-28
著者
-
内池 平樹
広島大学 工学部 第二類(電気系)電子素子工学研究室
-
町田 賢司
Nhk
-
原田 茂樹
三菱電機株式会社先端技術総合研究所:佐賀大学大学院工学系研究科
-
町田 賢司
広島大学 工学部
-
原田 茂樹
広島大学 工学部
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