EL素子発光層材料の評価
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概要
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青緑色発光のEL発光層材料であるSrS:Ce薄膜を製膜する際の課題として、 SrSの組成比のずれの防止や結晶性の改善を行うことが必要である。 本実験では、蒸着源としてZnSを混合したSrS:CeCl_3ペレットを用いて薄膜を作製し、 さらに基板温度を変化させて膜の性質の変化を調べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-20
著者
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