電界放出アレイの電子放出特性
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概要
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本研究では、n型シリコンを用いて電界放出アレイを作成し、電子放出特性、放出電子のエネルギー分布を測定した。さらに、高融点金属で覆われた電界放出アレイを作成し同様の測定を行った。金属被覆することにより、低電圧での電子放出を確認した。放電電子のエネルギー分布の測定から、金属被覆しないときには、金属被覆したときよりも分布が広がりを持つ傾向が見られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-21
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